三星宣布7nm LPP量产!基于EUV光刻技术、性能增加20%

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三星官方宣布,已经开始进行7nm LPP(Low Power Plus)工艺芯片的量产工作。
据悉,三星的7nm LPP采用EUV光刻,机器采购自荷兰ASML(阿斯麦),型号为双工件台NXE:3400B(光源功率280W),日产能1500片。

简单来说,EUV使用13.5nm波长的极紫外光曝光硅片,而传统的氟化氩(ArF)浸没式光刻则是依靠193nm波长,并且需要昂贵的多模掩模装置。EUV技术使得使用单个光罩来创建硅晶圆层成为可能,而ArF可能需要多达4倍的光罩才能创建相同的晶片。也就是说,与非EUV工艺相比,三星的7 LPP工艺可使光罩总数减少约20%,为客户能够节省时间和成本。

三星透露,其从2000年左右就着手研究EUV技术了。

技术指标上,对比10nm FinFET,三星7nm LPP可实现面积能效(同样复杂度为量纲)提升40%、性能增加20%、功耗降低最多50%。

三星透露,基于EUV的7nm LPP成功量产为其推进3nm奠定了基础、指明了道路。产能方面,主要在韩国华城的S3工厂,2020年前会在开一条新产线。

目前已知,高通新一代的5G基带会采用三星的7nm LPP工艺,看起来骁龙8150/8180等SoC希望也很大。

这家半导体制造商表示,7LPP制造技术可以减少40%的面积(同样的复杂性),同时降低50%的功耗(在相同的频率和复杂度下)或性能提高20%(在相同的功率和复杂性下) )。看起来,选择层使用极紫外光刻技术使三星Foundry能够在其下一代SoC中放置40%以上的晶体管并降低其功耗,这是移动SoC的一个非常引人注目的主张,将由其母公司使用。
三星在其位于韩国华城的Fab S3生产7LPP EUV芯片。该公司每天可以在其ASML Twinscan NXE:3400B EUVL步进扫描系统和每个280 W光源上处理1500个晶圆。三星没有透露它是否使用薄膜来保护光掩模免于降级,但仅表明使用EUV可以将芯片所需的掩模数量减少20%。此外,该公司表示,它已经开发出专有的EUV掩模检测工具,可以在制造周期的早期进行早期缺陷检测并消除缺陷(这可能会对产量产生积极影响)。
三星Foundry没有透露其首先采用其7LPP制造技术的客户名称,但仅暗示使用它的第一批芯片将针对移动和HPC应用。通常,三星电子是半导体部门的第一个采用其尖端制造工艺的客户。因此,预计到2019年,三星智能手机将推出一款7nm SoC。此外,高通将采用三星的7LPP技术作为其“Snapdragon 5G移动芯片组”。
“随着EUV工艺节点的引入,三星在半导体行业引领了一场静悄悄的革命,” 三星电子代工销售和营销团队执行副总裁Charlie Bae说。“晶圆生产方式的这种根本性转变使我们的客户有机会以卓越的产量,减少的层数和更高的产量显着提高产品的上市时间。我们相信7LPP不仅是移动和HPC的最佳选择,也适用于广泛的尖端应用。“
三星的7LPP制造技术优于公司专为移动SoC设计的10LPP,具有令人印象深刻的优势。同时,为了使该流程对广泛的潜在客户具有吸引力,该代工厂提供了一套全面的设计支持工具,接口IP(控制器和PHY),参考流程和先进的封装解决方案。
此时,7LPP得到了众多三星高级代工生态系统(SAFE)合作伙伴的支持,包括Ansys,Arm,Cadence,Mentor,SEMCO,Synopsys和VeriSilicon。除此之外,三星和上述公司还提供HBM2 / 2E,GDDR6,DDR5,USB 3.1,PCIe 5.0和112G SerDes等接口IP解决方案。因此,2021年及之后的SoC芯片开发商将依靠PCIe Gen 5和DDR5开始设计他们的芯片。
至于封装,使用7LPP EUV技术制造的芯片可以与2.5D硅插入器(如果使用HBM2 / 2E存储器)以及三星的嵌入式无源基板耦合。
如上所述,三星在其Fab S3上安装了EUV生产工具,后者仍然拥有大量的DUV(深紫外线)设备。由于EUVL仅用于选择7LPP芯片层,因此相对有限数量的Twinscan NXE:3400B扫描仪几乎不成问题,但当三星的工艺技术需要EUV用于更多层时,可能需要扩展其EUV容量。


网友评论:
现在才开始量产,下一代高通啥时候才出来呢?苹果菊花都开卖了

现在还有845新机发布呢

—— 来自 Xiaomi MI 6X, Android 8.1.0上的 v2.0.4
有一家能增加点7nm产能总归是好事

总不会两家py抬高市场价格吧
然而lpp也是高能效,不好跑高频
高频还得tsmc的hpc

—— 来自 Xiaomi Mi Note 3, Android 7.1.1上的 v2.0.4

就两家简直不要PY得太容易

三星:别说两家,三家五家我也py给你看

—— 来自 samsung SM-G9500, Android 8.0.0上的 v2.0.4-play

丧门星干这个可是专门科的,没他参合反倒不一定有事

然后转脸就做了污点证人,其他几家被大刑伺候,棒子星没有任何惩罚。

—— 来自 Sony G8441, Android 8.0.0上的 v2.0.4-play